影像测量仪的误差来源
在影像测量仪上的测量均是单轴或二维平面坐标的测量，测量时先对焦，后对准，再读数最后计算处理www.xbaixing.com。读数来自于标尺即光栅系统，对焦对准依靠显微镜光学系统，还有一个直接影响测量效果和精度的照明光源，因为，基于影像方法测量的仪器，如果被测件不能被有效正确的照明，则测量的结果显然要偏离其真实尺寸x.b.a.i.x.i.n.g.c.o.m。除前述因素外，环境条件也是制约测量精度不可忽视的因素欢迎www.xbaixing.com。基于上述分析，可以归纳出以下几个方面的误差来源:
1)光栅计数尺的误差;
2)工作台移动时存在的直线度、角摆带来的误差;
3)工作台两测量轴垂直度带了的误差;
4)微镜光轴与工作台面不垂直带了的误差;
5)测量室温度偏离20℃参考温度带来的误差;
6)光源照明条件的变化带来的对焦和对准误差原文www.xbaixing.com。
在这几种因素中，前四项误差，是硬件误差，在仪器制造过程中已经形成并固定下来，一般无法改变;温度影响带来的误差，必须通过控制测量室的温度和等温过程来减小其影响www.xbaixing.com。
最后一项则常被忽视，而在实际测量中，当光源照明条件改变时，直接影响被测工件的照明效果和影像质量，主要是因为影像测量仪的图像是通过CCD接收，尽管CCD具有自动调节增益的功能，但当亮度过大时即失去调节功能，导致被测工件影像在缩小，当亮度过低时，工件影像反而变大xbaixing.com。这种影响，对于测量具有重复图形结构之间的间距时，只要整个测量过程中照明条件保持不变，其影响可以忽略，因为每个重复图形结构都同时在变大或变小，间距的测量计算直接消除了影像变形的影响，如测量玻璃尺、网格板刻线间距;除了这种特殊情形外，如测量圆的直径、工件的长度和宽度，都将带来明显的误差x~b~a~i~x~i~n~g~c~o~m。
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